为了避免在没有通入氦气的情况下启动◣射频源，造成等离子体发生器损坏，仪器在放电前会先对气量进行检测，当发现气量未达到一定数值时射频源不启动，并且无倒计时现象。此时需●要点击“中断处理”并检查气路是否正常，比如气体流ξ量设定是否正常、气♀瓶中气体是否充足、气瓶阀门是否打开等，排除问题后方可进行后续操作。